令和２年度中小企業経営支援等対策費補助金（戦略的基盤技術高度化支援事業）（ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス（ＡＡＡ）技術の研究開発）
金額
22,383,027円
実施機関
経済産業省