令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（浜松ホトニクス）
金額
56,885,833円
実施機関
経済産業省